适用于电池负极材料、氧化亚硅等可气相沉积材料大批量生产，具备高真空升华，反应，脱脂，脱水，气相沉积材料自动研磨刮料，炉内收集等特殊工艺能力。

　　设备特点：

　　一次装料量大， 生产效率高。

　　全程全封闭全自动化作业，避免粉尘飞扬，生产现场环境整洁干净。

　　温度控制1500度以内，升温速率快。

　　可以在真空度下保持稳定运行工作。